【#滨化集团6N级高纯氟化氢实现量产# ，具备年产50吨充装能力】#滨化集团##高纯氟化氢#

7月19日，滨化集团旗下大晟芯材电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。会上披露，公司已实现6N级（99.9999%）高纯氟化氢规模化量产，并完成相关生产及充装能力建设。
高纯氟化氢是半导体制造过程中的重要电子化学品，主要应用于晶圆蚀刻、清洗等环节。滨化集团表示，公司此次量产的6N级高纯氟化氢关键金属离子杂质含量低于1ppb，产品指标达到国际先进水平。据介绍，6N级高纯氟化氢对纯度要求较高，生产过程中需要对微量杂质进行严格控制。

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