新型空腔鼓膜式膜片，突破光纤FPI超声传感器灵敏度与频率响应瓶颈 | 亮点
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针对膜片式光纤FPI超声传感器中灵敏度与频率响应难以兼得的问题，中国科学院深圳先进技术研究院、华南理工大学等联合团队提出了一种空腔鼓膜式膜片结构的光纤法布里-珀罗超声传感器，从结构层面突破了灵敏度与频率响应的互限，在高频段同时获得超高灵敏度响应。图1展示了该工作设计的光纤FPI超声传感器膜片的结构和原理：减薄区域可以增大灵敏度，镂空区域用来调控所需要的频率范围。通过仿真对比无结构膜片，以及该工作膜片的频率和灵敏度，该团队发现二者的制约关系减弱，可进一步优化存在减薄区域和镂空区域的膜片性能。