电子特气概念上游氟化工原料（特气上游配套，间接受益扩产）
​​1. 巨化股份 600160：国内氟化工全产业链龙头，供应电子级氟化氢、高纯氟气，六氟化钨核心原料
​​2. 多氟多 002407：UP-SSS级电子氢氟酸，氟系特气生产辅助原料
​​3. 厦门钨业 600549：六氟化钨上游钨粉核心供应商，受益WF6产能扩张
​​赛道核心逻辑速记
​​1. 六氟化钨（AI先进制程最强弹性）：中船特气（绝对龙头）＞中巨芯＞昊华科技
​​2. 光刻气/稀有混合气（认证壁垒最高）：华特气体（ASML双认证）、凯美特气
​​3. 掺杂氢化物（磷烷/砷烷）：南大光电（国内唯一量产）
​​4. 六氟丁二烯（先进刻蚀）：昊华科技（全球第一）、中船特气
​​5. 超纯氨/大宗载气：金宏气体、和远气体、广钢气体
​​6. 上游氟原料：巨化股份、多氟多