加热盘这个品类,先进制程中金属类国产化率尚不足15%,高端陶瓷类更是不到10%。设备正从单腔向多腔演进,一台刻蚀机从单腔扩展为三腔,腔体、加热器等零部件的需求量预计会随之成倍增长~~
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发布于 广东
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