芯片洁净室产业链 A 股公司梳理:
一、洁净室工程/系统集成(EPC/EPCO,核心龙头)
• 亚翔集成:半导体洁净室龙头,高端制程能力强,深度绑定国内外头部晶圆厂
• 柏诚股份:内资洁净室集成领军,半导体业务占比高,服务国内主流存储、晶圆厂
• 圣晖集成:台资背景,EPCO全流程服务,覆盖封测、晶圆制造环节
• 深桑达A:中电旗下,依托中电二、中电四所,承接国家级半导体重大项目
• 太极实业:旗下十一科技,国内头部洁净室工程方,服务海外大厂及国内存储厂
• 华康洁净:电子+医药双洁净室业务,覆盖长江存储等产业链
二、洁净室核心设备(空气净化+流体+废气处理)
• 美埃科技:FFU、高效过滤器龙头,半导体空气净化核心供应商
• 至纯科技:高纯工艺系统+洁净室配套,覆盖晶圆厂制程端洁净需求
• 新莱应材:高纯流体管阀、真空部件,洁净室流体系统核心标的
• 盛剑环境:专注半导体工艺废气治理,洁净配套刚需
• 创元科技:旗下苏净集团,空气净化设备老牌企业
三、洁净室材料/耗材
• 再升科技:超高效过滤材料,洁净室核心耗材上游
• 新纶科技:防静电无尘服、无尘布等洁净室耗材
• 华特气体:特种气体及输送系统,先进制程洁净环境刚需
四、产业链弹性优先级
1. 工程集成:亚翔集成 → 柏诚股份 → 圣晖集成
2. 核心设备:至纯科技 → 美埃科技 → 新莱应材
3. 材料耗材:再升科技 → 华特气体 → 新纶科技
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