【三星重新推进1.4nm开发工作】在“Samsung Foundry Forum 2022”上，三星公布了未来的技术路线图，显示将会在2025年开始大规模量产2nm工艺，更为先进的1.4nm工艺将首次引入High-NA EUV光刻技术，预计会在2027年量产。不过三星在去年调整了规划，表示1.4nm工艺的量产工作将延后至2029年，将重点放在2nm工艺的优化上，提升性能和能耗表现，并提高良品率，原因是晶圆代工部门在当时状态下无法控制运营损失。
有消息称，三星最近向国内外的合作伙伴发出请求，早日开发相关工艺设备。消息人士透露，三星已经在NRD-K工厂安装了ASML的下一代High-NA光刻设备，将从1.4nm工艺开始，应用于特定工艺层。