火花弱或放电不足:
通常与放电参数设置或高压电路老化有关，需核查脉冲宽度，峰值电流等参数是否符合工艺要求，并检查高压电容、晶体管等元件是否老化或损坏。
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火花弱或放电不足:
通常与放电参数设置或高压电路老化有关，需核查脉冲宽度，峰值电流等参数是否符合工艺要求，并检查高压电容、晶体管等元件是否老化或损坏。