从投资角度，半导体设备（华海清科、芯源微）和半导体材料（彤程新材、神工股份）两个环节的竞争格局最优、国产替代空间最大，或是赛道中的核心配置方向。零部件与配套（富创精密、正帆科技）作为"卖铲人"角色，受益于晶圆厂扩产的确定性或也较强。

华海清科（688120）：CMP设备国内绝对龙头，2025年营收46.5亿元，同比增长36.5%，CMP装备在先进逻辑、先进存储及先进封装等领域批量应用。积极布局设备维保、耗材供应、晶圆再生等全链条服务。

芯源微（688037）：前道涂胶显影设备核心供应商，同时布局前道清洗设备和后道先进封装设备。

中科飞测（688361）：高端半导体质量控制设备龙头，检测设备毛利率高达50.62%，2025年营收同比增长51.39%。

精测电子（300567）：显示检测起家，成功拓展至半导体前道量测（膜厚量测、光学关键尺寸量测）和后道测试设备，半导体业务已扭亏为盈