半导体高纯二氧化碳供给紧缺，电子特气国产替代迎来量价双击窗口！
6月27日消息，半导体先进制程必需的高纯度CO₂（5N/6N级） 全球供应趋紧，三星、SK海力士库存跌破安全线，正全球加价扫货，价格已涨约20%，紧缺或持续至年底 。这是继光刻胶、特种气体、氦气后，又一关键材料“卡脖子”警报。电子级CO₂非人工合成，是炼油、乙烯、制氢的工业尾气提纯产物。全球电子特气长期被空气化工、林德、液化空气垄断（市占率超80%）。中东冲突致原油不稳，韩国石化厂开工率骤降，源头原料大幅缩减 。高纯气体产线投资大、认证严、建设周期1–2年，短期供给无弹性。高纯度CO₂用于超临界清洗：兼具液体溶解力与气体渗透性，可深入先进制程微细结构清除杂质，是保障良率的核心工艺，无成熟替代方案 。三星月耗1800–2000吨、SK海力士600–700吨，需求刚性 。
1.金宏气体（688106）：国内最早实现超临界高纯CO₂量产的企业，突破6N级（99.9999%） 提纯技术，满足12英寸先进制程要求。拥有万吨级超临界CO₂产能，配套尾气回收提纯技术（与台积电南京厂合作，回收率92%，成本降15%）。2026年6月官宣批量稳定供货无锡SK海力士，专供先进DRAM/3D NAND超临界清洗，是国内唯一进入韩系存储供应链的CO₂供应商。
2.至纯科技（603690）：国内半导体大宗气站一体化龙头，为12英寸、28nm及以下先进制程晶圆厂提供全套大宗气体解决方案，包括高纯CO₂、氮气、氧气、氢气、氦气等。掌握集中供气+纯化+回收全流程技术，气站设计、建设、运营一体化，稳定性与可靠性达国际水准，通过中芯国际、华虹、长江存储等头部客户认证。
3.凯美特气（002549）:国内高纯CO₂产能最大企业，年产能超40万吨，占全国市场份额15%+。自主研发动态减压分离提纯工艺（国家发明专利），可稳定产出5N级（99.999%） 电子级CO₂，成品率99%，远超行业平均。构建“尾气供应-提纯生产-产品应用”全产业链，与国内多家石化龙头深度绑定，原料供应稳定。光刻气通过ASML子公司Cymer认证，进入中芯国际、长江存储供应链。
4.中船特气（688146）：央企背景，电子特气国家队，掌握高纯CO₂深度提纯技术，产品达5N/6N级，通过国内头部晶圆厂认证。布局大宗气站+特种气体双赛道，高纯CO₂配套大宗供气站，一体化服务能力强。依托中船集团资源，原料供应稳定+研发实力雄厚，技术迭代快。
5.中巨芯（688549）：专注电子特种气体与湿电子化学品，突破高纯CO₂提纯技术，产品达5N级，通过国内晶圆厂认证。布局CO₂回收提纯技术，降本增效，竞争力强。电子特气产品矩阵完善，与高纯CO₂形成协同效应。
6.侨源股份（301286）:西南地区综合气体龙头，已实现5N级电子级CO₂量产，纯度达99.999%，金属杂质<1ppb，满足12英寸成熟制程（28–14nm）清洗需求 。依托西南石化集群，构建“石化尾气回收+深度提纯+液态储运”全链条，原料成本比行业低10%–15%。拥有西南最大全液态空分产能，CO₂液态存储能力超5万吨，保供稳定性强。
7.和远气体（002971）：华中地区高纯气体龙头，自主研发低温精馏+吸附耦合提纯技术，可稳定产出5N级电子CO₂，水分<0.5ppm，通过SEMI标准认证。布局石化尾气回收提纯项目，年处理能力10万吨，CO₂原料自给率达80%，成本优势突出。电子特气产品矩阵完善，与高纯CO₂形成协同。
8.广钢气体（688548）：国内领先电子大宗气体综合服务商，产品覆盖高纯CO₂、N₂、O₂、H₂、He等六大核心品类。掌握现场制气+集中纯化+管网输送+回收循环全流程技术，为12英寸晶圆厂提供一站式大宗气站解决方案，稳定性达国际水准。已中标长鑫存储、晶合集成、华星光电等头部客户大宗供气项目，合约最长15年 。
​9.杭氧股份（002430）：全球空分设备龙头，电子大宗气体后起之秀，已实现5N级高纯CO₂量产，配套大宗气站一体化服务。依托空分技术积累，构建“空分制气+CO₂提纯+气站运营”综合能力，成本与稳定性优势显著。已进入中芯国际、华虹、长江存储等头部晶圆厂大宗供气体系。
​10.昊华科技（600378）央企背景，电子特气国家队，掌握CO₂尾气深度回收+6N级提纯核心技术，纯度达99.9999%，满足5nm先进制程要求。依托中国化工资源，原料供应稳定+研发实力雄厚，技术迭代快。电子特气产品矩阵完善，高纯CO₂与光刻气、蚀刻气协同发展。