美国人担心荷兰阿斯麦尔公司一款先进的极紫外光刻机已经流入中国。但大多数人没有真正明白这是什么意思,ASML官方从未交付整机,这是事实。但跨国大公司常玩的把戏是“拆散交付”(Knock-down kit)。零部件的出口限制远比整机宽松。美国人真正担心的,不是100%的整机流出,而是我们是否通过非正规渠道,收罗了EUV这台“工业怪兽”的若干核心子系统(如光源或双工作台),在境外或本土进行“逆向拼图”。ASML辟谣的是“整机”,但并未否认“部件”可能存在的流散。我们确实需要高端EUV光刻机,但美国人可能不知道这己经不是必选项了,没有高端光刻机我们依然可以造出高端芯片。
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