电子特气+六氟化钨 全产业链概念股梳理

一、核心主线：六氟化钨（WF₆，HBM/存储沉积核心材料）

已量产（第一梯队，6N级高纯，晶圆厂认证）

1. 中船特气（688146）【总龙头】
现有2000吨/年产能，全球第一，在建1000吨扩产产能，国内唯一稳定供货7N级超高纯产品，深度绑定三星、台积电、长江存储。同时布局三氟化氮，双品种受益。
2. 昊华科技（600378）【二线中军】
现有600吨六氟化钨产能，同时拥有全球垄断级六氟丁二烯产能，四大品种全覆盖，一体化氟化工平台。
3. 中巨芯（688549）【弹性标的】
合资产能600吨，同步配套二氯二氢硅、含氟刻蚀气体，品种齐全，股价弹性较高。

上游原材料

中钨高新（000657）：高纯钨粉核心供应商，六氟化钨核心原料端受益标的。

 

1.空分设备（电子气配套装备，所有特气企业刚需）

- 杭氧股份（002430）：国内空分设备绝对龙头，高纯气体提纯装置主力供货商，特气扩产最直接受益。
- 正帆科技（688596）：高纯气体管路、提纯、制程系统，半导体电子气配套设备龙头。
- 侨源股份（301286）：现场制气+空分一体化，大宗电子气体配套设备+供气双业务。
- 广钢气体（688546）：大宗电子气体运营+空分产能配套。

 

2.二氯二氢硅（HCDS，硅外延前驱体，半导体薄膜材料）

核心龙头

1. 中巨芯（688549）：已实现电子级二氯二氢硅量产，配套自有特气产能。
2. 三孚股份（603938）：工业级转电子级，高纯硅基气体龙头，产能持续爬坡。
3. 华特气体（688268）：电子级硅基前驱体通过多家晶圆厂认证。
4. 金宏气体（688106）：电子级硅烷+二氯二氢硅同步布局。

 

3.三氟化氮（NF₃，晶圆清洗主流气体，产能紧缺）

核心龙头

1. 中船特气（688146）：国内最大三氟化氮产能，配套六氟化钨双轮驱动。
2. 昊华科技（600378）：规模化电子级产能，头部晶圆厂批量供货。
3. 南大光电（300346）：电子级三氟化氮稳定量产。
4. 雅克科技（002409）：含氟电子清洗气布局完善。
5. 和远气体（002971）：电子级三氟化氮在建产能，弹性标的。

 

4.六氟丁二烯（C₄F₆，7nm以下先进制程精细刻蚀刚需）

独家龙头

1. 昊华科技（600378）【全球垄断】
1200吨高纯5N级产能，全球市占近60%，长江存储、台积电先进刻蚀唯一主力供应商，涨价弹性全市场第一。
2. 中巨芯（688549）：同步布局六氟丁二烯刻蚀气体。
3. 华特气体（688268）：小批量高端刻蚀氟碳特气。

 

二、全品种全覆盖核心标的（四只核心中军）

1. 昊华科技（600378）：空分配套原料+六氟化钨+三氟化氮+六氟丁二烯+硅基气体，四大赛道全部打通，综合受益最强。
2. 中船特气（688146）：六氟化钨+三氟化氮双王牌，本轮行情核心主线标的。
3. 中巨芯（688549）：六氟化钨+二氯二氢硅+六氟丁二烯，小盘高弹性。
4. 华特气体（688268）：全品类电子特气平台，光刻气+刻蚀气双壁垒。

 

三、二线弹性小票（仅单一品种）

- 三氟化氮弹性：南大光电、和远气体
- 二氯二氢硅：三孚股份
- 空分设备弹性：杭氧股份、正帆科技
- 上游原料：中钨高新

风险提示：以上仅为行业个股梳理，不构成投资建议；电子特气短期涨幅较大，注意业绩兑现与估值波动风险。

需要我把这些标的整理成【中军+弹性+上游】三张精简清单吗？