熔岩之下
26-06-24 14:34

韩国半导体厂烧的稀有气体,有一半要从中国公司手里拿了。
中泰股份跟浦项制铁在韩国光阳建的合资工厂,6月17号竣工投产了,年产能13万标准立方米的高纯稀有气体,氪气、氙气、氦气。EUV光刻和刻蚀工序离不开这些气体。存储芯片堆的层数越多,气体消耗量跟着涨[畅游]

浦项出粗气,中泰出提纯技术。光阳制铁所炼钢的副产品里含稀有气体,以前是当废气排掉的。中泰的深冷精制技术把粗气提到6N电子级[并不简单]
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