熔岩之下
26-06-11 17:42

半导体零部件里,「密封圈」这条线最近涨得挺快。

半导体设备里每个工艺腔体都有几十个密封圈。刻蚀气体有腐蚀性,温度动不动几百摄氏度,普通橡胶扛不住。得用FFKM全氟醚橡胶,腐蚀性的工艺气体拿它没办法。如果产线开得满,密封圈是耗材,换得就会很快了~

高端FFKM半导体密封件,长期还是杜邦Kalrez和日本大金这些海外厂商比较强。
国内这边,唯万密封的FFKM密封件已经在半导体设备上验证通过,专门设了子公司唯万特芯,方向盯的是半导体密封件。唯万密封今天涨了八个点[并不简单]
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