半导体七大设备国产替代
1. 刻蚀设备(国产化20%-25%)
核心:芯片雕刻电路
龙头:中微公司、北方华创、芯源微
2. 薄膜沉积(国产化15%-20%)
核心:晶圆镀膜,替代空间大
龙头:拓荆科技、北方华创、微导纳米
3. 清洗设备(国产化25%-30%,进度最快)
核心:全程除杂质
龙头:盛美上海、至纯科技、北方华创
4. 离子注入机(国产化10%-15%,高壁垒)
核心:改变硅片导电性
龙头:万业企业、北方华创、华海清科
5. 量测设备(国产化5%-8%,最卡脖子)
核心:检测良率、控精度
龙头:中科飞测、精测电子、华峰测控
6. 涂胶显影(国产化<5%,高度垄断)
核心:光刻配套核心
龙头:芯源微、北方华创、盛美上海
7. CMP抛光(国产化10%-15%,加速突破)
核心:晶圆平坦化
龙头:华海清科、中微公司、北方华创
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