半导体设备7大王者,扛起国产替代大旗
一、刻蚀设备
刻蚀是芯片制造中最关键的步骤之一,相当于在硅片上“雕刻”电路图形。
随着芯片线宽越来越细、3D NAND结构堆叠层数越来越多,刻蚀设备的价值量持续攀升。
全球刻蚀市场约200亿美元,国内占比约25%-30%。当前国产化率约20%-25%。
关联公司:
TOP 1 : 中微公司
TOP 2 : 北方华创
TOP 3:芯源微
二、薄膜沉积设备
薄膜沉积是在晶圆表面“生长”各种材料薄膜,包括PVD、CVD、ALD(原子层沉积)等,
是逻辑芯片、存储芯片、功率芯片都离不开的通用设备。
全球市场约250亿美元,国内占比超25%。
国产化率约15%-20%,国产替代空间巨大。尤其是ALD设备,技术壁垒极高,国产厂商正加速突破。
关联公司:
TOP 1 : 拓荆科技
TOP 2 : 北方华创
TOP 3 : 微导纳米
三、清洗设备
清洗贯穿芯片制造全过程,用于去除杂质和残留物。
随着制程微缩,清洗步骤越来越多(占所有工艺步骤的30%以上)。
全球市场约80亿美元,国内规模约20亿美元。
清洗设备是国产化率相对较高的细分赛道,达到25%-30%。
关联公司:
TOP 1 : 盛美上海
TOP 2 : 至纯科技
TOP 3:北方华创
四、离子注入机
离子注入是将杂质离子“轰击”进硅片,改变导电性能,是掺杂工艺的核心设备。
全球市场约30亿美元,国内占比约3%(规模较小),但技术壁垒极高。
此前该设备被应用材料、Axcelis等海外巨头长期垄断,国产化率仅约10%-15%。
关联公司:
TOP 1 : 万业企业
TOP 2 : 北方华创
TOP 3 :华海清科
五、量测设备量
测设备用于检测芯片制造过程中的缺陷和参数,保证良率。随着线宽缩小、层数增加,量测难度和成本占比快速提升(占设备总成本的10%-15%)。
全球市场约120亿美元,国内占比约13%。量测设备是当前国产化率最低的设备细分赛道之一,仅约5%-8%,是最“卡脖子”的环节之一。
关联公司:
TOP 1 : 中科飞测
TOP 2 : 精测电子
TOP 3 : 华峰测控
六、涂胶显影设备
涂胶显影是光刻的前后道工序,负责在晶圆上均匀涂抹光刻胶并显影。
全球市场约40亿美元,日本东京电子一家独大,市占率近90%。
国内国产化率不足5%,是亟需突破的方向。
关联公司:
TOP 1 : 芯源微
TOP 2 : 北方华创
TOP 3 : 盛美上海
七、CMP设备(化学机械抛光)
CMP(化学机械抛光)用于平坦化晶圆表面,是多重曝光和3D堆叠的关键设备。
全球市场约35亿美元,国内占比约15%-20%。
目前12英寸CMP设备国产化率约10%-15%,国产替代正加速推进。
关联公司:
TOP 1 : 华海清科
TOP 2 : 中微公司
TOP 3 :北方华创
