从平台到零部件完整全产业链图谱
当前整个半导体设备材料赛道，可清晰划分为七大核心环节，每一环都有对应的核心标的：
第一环——前道核心设备
北方华创：平台型半导体设备龙头，主营产品包括刻蚀机、PVD、ALD、CVD、氧化/扩散炉、清洗机等全品类高端半导体工艺装备，平台化布局七大核心设备，完成对芯源微的并购进一步丰富设备线。受益于下游资本开支扩张及国产化率提升，是长鑫/长存产业链核心设备商。5月20日股价再创历史新高，近一个月已多次刷新历史纪录，近期维持上升趋势的设备股中领衔。
中微公司：主打高端刻蚀设备及薄膜沉积设备（LPCVD/ALD），在先进逻辑/存储芯片中持续放量。作为刻蚀设备龙头，被多家券商列为长鑫/长存产业链核心设备商。5月20日股价再创历史新高，与北方华创、中科飞测一同领涨板块。
拓荆科技：薄膜沉积设备主要供应商，PECVD、ALD设备已批量用于14nm逻辑及128层3D NAND产线，2025年设备反应腔累计出货超3400个，进入约100条生产线。5月20日涨幅超11%，股价再创历史新高。
华海清科：CMP（化学机械抛光）设备龙头，服务于存储产线。
微导纳米：薄膜沉积设备商，市占率持续提升。5月20日涨幅超8%。
屹唐股份：去胶、热处理及刻蚀设备龙头。
芯源微：低国产化率环节设备商，涂胶显影设备国产替代先锋，2025年已由北方华创完成并购，进一步丰富后者设备布局。
盛美上海：清洗设备龙头，同时布局ECP电镀等前道设备。
京仪装备：前道设备商，服务于先进制程扩产。
第二环——检测量测
中科飞测：检测量测设备供应商，国内唯一覆盖全产业链的龙头，深度绑定中芯国际、长江存储等头部客户。5月20日20cm涨停，涨幅达20%，收于264.60元。当前半导体量检测设备国产化率仍不足10%，中科飞测正是该环节国产替代的核心受益者。
精测电子：前道及后道检测设备供应商，被东吴证券列为低国产化率环节设备商重点推荐。
第三环——封装测试设备
长川科技：测试设备龙头，下游封测厂经营改善叠加先进封装扩产，测试设备需求高景气。2025年受先进封装扩产驱动，利润增速高达128.42%。5月20日涨幅居前，收于242.90元，涨8.41%。
华峰测控：模拟测试机龙头，受益封测景气度回升。
精智达：存储测试设备供应商，属于长鑫/长存产业链核心标的。
金海通：分选机等后道测试设备，5月20日涨9.33%。
耐科装备：封装设备，5月20日录得20cm涨停。
联动科技、光力科技、迈为股份：后道封测设备方向重要标的。
第四环——材料设备
晶盛机电：材料设备战略标杆，12英寸碳化硅衬底加工中试线已正式通线并完成送样验证，集成电路及化合物半导体装备未完成合同超37亿元。既是设备制造商，也是半导体衬底材料供应商，是“材料+设备”双轮驱动的稀缺标的。5月20日涨幅居前。
沪硅产业：半导体硅片龙头，受益于晶圆厂产能扩张对上游衬底材料的刚性需求，12英寸大硅片国产化持续推进。
立昂微：硅片核心企业，逐步进入主流晶圆厂供应体系。
第五环——核心零部件
零部件是半导体设备“心脏”，直接影响设备交付与产值，且客户黏性极强、不易替代。
富创精密：金属腔体、结构件等机械类零部件龙头，率先突破7nm零部件量产，为北方华创等头部设备厂长期配套。2026Q1同环比大幅扭亏，收入同比增长36.8%，归母净利润5794万元，零部件环节率先进入业绩修复期。
江丰电子：超高纯金属溅射靶材龙头，2025年实现营收46.0亿元，同比增长27.7%，归母净利润5.0亿元，同比增长24.7%，铜锰合金、钨等高端靶材实现批量应用放量。同时覆盖半导体精密零部件业务，属于长鑫/长存产业链材料供应商。
珂玛科技：先进陶瓷材料零部件龙头，2025年全年营业收入10.73亿元，同比增长25.19%，半导体领域陶瓷结构件市场需求持续旺盛。
先锋精科：零部件国产替代重点标的。
新莱应材：零部件环节重点标的。
英杰电气、汉钟精机：零部件方向重要标的。
第六环——半导体材料
中船特气：电子特气核心供应商，属于长鑫/长存产业链，5月20日涨超18%。半导体材料全品类进入量价齐升阶段，AI服务器、先进封装及HBM技术迭代带动电子特气用量激增。
华特气体、金宏气体、凯美特气、和远气体：电子特气方向跟涨个股。
雅克科技：前驱体材料核心供应商，长鑫/长存产业链。
安集科技：抛光液龙头，服务于存储产线。
鼎龙股份：抛光垫及先进封装材料供应商。
上海新阳、兴福电子、艾森股份：半导体材料方向重要标的。
彤程新材、南大光电：高端光刻胶领域核心企业，ArF、KrF高端光刻胶国产化率约5%至10%，持续突破中。
第七环——洁净工程（晶圆厂建设配套）
柏诚股份：大陆本土电子洁净室龙头，曾承接长江存储国家基地一期项目，后续有望深度参与扩产。
亚翔集成：承建长江存储国家存储器基地一期、一期二阶段工程项目，覆盖洁净室、工艺动力等核心环节。
深桑达A：旗下中电二、中电三、中电四为长江存储武汉基地多期3D NAND产线提供全流程洁净室整体解决方案。
圣晖集成、太极实业（十一科技）、华康洁净：洁净工程方向重要配套商。