【LAM | YAG体内超小尺寸高圆度纳米结构加工】✨近期,四川大学周寿桓院士团队邓国亮副教授在《Light: Advanced Manufacturing》上发表论文,提出了一种基于飞秒激光近场增强效应与湿法刻蚀的超精细纳米结构加工方法,利用缺陷种子的近场增强效应,有效降低了YAG晶体的改性阈值,在体内成功实现了尺寸可控、最小截面约25×23 nm²、近圆形的纳米孔结构。研究揭示了亚阈值功率下结构形貌的演变规律,并在此基础上构建了纳米级光子晶体波导,为飞秒激光三维纳米加工向数十纳米尺度拓展提供了新路径。【点击链接阅读📖原文:http://t.cn/AXxqdnUw】
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