全球半导体无尘室市场正在快速扩张。根据 MarketsandMarkets 最新报告，该市场预计 2025 年达到 80.8 亿美元，到 2030 年增长至 118.8 亿美元，复合年增长率（CAGR）为 8.0%。
市场增长的核心驱动力来自先进污染控制需求。随着芯片器件几何尺寸持续缩小，EUV（极紫外）光刻、3D NAND等先进工艺对超洁净环境的要求显著提高。同时，更严格的环境法规，以及对节能与可持续运营的追求，推动晶圆厂积极采用新一代过滤、监测与空气处理技术。因此，无尘室已成为提升良率、确保合规、保障制造可靠性的关键基础设施。
报告指出，**2024 年“无尘室基础设施与系统”**细分市场占据最大份额，涵盖空气处理单元（HVAC）、层流工作台、管道系统等核心设备，用于维持稳定可控的洁净环境。其中，**风机过滤器单元（FFU，Fan Filter Unit）**预计增速最快，原因是先进制程对洁净空气需求显著增加。