SMEE命名的方式都是同一數字代表同時期產品，A/B/C等代表不同光源產品…. //@TAOG_1575:如果SMEE聽到你們要用SSC800 去多重曝光做7nm大概會發瘋….（ps.我知到所謂的7nm一定會有些不是關鍵的layer會用KrF，但沒人在用KrF多重曝光⋯⋯） 你們不要以為C比A後面就是更先進的….SSC800是 KrF [流汗] 神ArF…還ArFi….
发布于 中国台湾
TAOG_1575
SMEE命名的方式都是同一數字代表同時期產品，A/B/C等代表不同光源產品…. //@TAOG_1575:如果SMEE聽到你們要用SSC800 去多重曝光做7nm大概會發瘋….（ps.我知到所謂的7nm一定會有些不是關鍵的layer會用KrF，但沒人在用KrF多重曝光⋯⋯） 你們不要以為C比A後面就是更先進的….SSC800是 KrF [流汗] 神ArF…還ArFi….