捷报！上海光机所EUV光源研究有突破！⚠️来自林楠团队！林楠是2021年回来的“海归派”！当老东西唧唧歪歪传播偏见时，在看不见的地方大量“海归”在干活！

¹ 今天看英文报道才知道，林楠团队创新性地发展了固态激光。² EUV光刻机最核心的分系统是激光等离子体EUV光源，主要挑战之一是提高激光到13.5nm EUV光的能量转换效率。划重点：ASML用的是CO2激光器。但新一代驱动光源有可能是1μm固体激光。林楠团队建立了固体激光驱动等离子体极紫外光源实验平台，实现了高达3.42%的1μm固体激光到13.5nm极紫外光的能量转换效率，主焦点13.5nm极紫外单脉冲能量超20mJ，国际靠前、国内领先。³ 蚂蚁啃大象，一点点进展的感觉。#科学人医疗社会史#