【全球首片 8 寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在我国下线】此项成果使用 8 寸 SOI 硅光晶圆键合 8 寸铌酸锂晶圆，单片集成光电收发功能，为目前全球硅基化合物光电集成最先进技术。
发布于 安徽
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【全球首片 8 寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在我国下线】此项成果使用 8 寸 SOI 硅光晶圆键合 8 寸铌酸锂晶圆，单片集成光电收发功能，为目前全球硅基化合物光电集成最先进技术。