http://t.cn/A6Oocz4b
清华大学新成果助力光刻机研发
光明网 2021-02-25 13:11
教育热点话题【清华大学新成果助力光刻机研发】清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心（HZB）以及德国联邦物理技术研究院（PTB）的合作团队2月25日在《自然》杂志上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》的研究论文，报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”（英文缩写SSMB）的首个原理验证实验。基于SSMB原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射，波长可覆盖从太赫兹到极紫外（EUV）波段，有望为光子科学研究提供广阔的新机遇，助力解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。大功率EUV光源的突破对于EUV光刻进一步的应用和发展至关重要。唐传祥介绍道：“基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。”下图分别为SSMB原理验证实验示意图和实验结果，图片来源：《自然》杂志。（光明日报全媒体记者 杨飒 通讯员 温兴煜）