【美国凭啥霸控高端光刻机？阿斯麦虽然赌赢了但仍是家“组装厂”？】相信不少小伙伴都听说过，台积电鬼才工程师林本坚发明“沉浸式光刻”方案，帮助阿斯麦一举打败当时光刻机巨头尼康的故事，才有阿斯麦辉煌的今天，这也很好地解释了台积电在全球半导体产业链中的话语权为何如此自信！那问题又来了，为什么台积电与阿斯麦都如此惧怕美国，对华为断供说一不二！

这还得从EUV LLC联盟开始说起，彻底把尼康光刻机拉下宝座的也是它，在美国的安排下，尼康被EUV LLC排挤在外，注定了如今光刻机市场阿斯麦一家独大的局面。之后的6年时间里，EUV LLC的研发人员发表了数百篇论文，大幅推进了EUV技术的研究进展，割地求和的阿斯麦虽然只是其中的小角色，但也有机会分得一杯羹。

早在1997年，英特尔为了尝试突破193nm，攒起了一个叫EUV LLC的联盟，这里资金到位，技术入场，人才云集。牵头的还包括美国能源部，联盟中的名字个个如雷贯耳，比如摩托罗拉、AMD、IBM，以及能源部下属三大国家实验室，它们分别是劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。

这些实验室是美国科技发展的幕后英雄，之前的研究成果覆盖物理、化学、制造业、半导体产业的各种前沿方向，有核武器、超级计算机、国家点火装置，甚至还有二十多种新发现的化学元素。

尼康之所以未能加入EUV LLC联盟，是因为美国担心它可能会将技术转移回日本，从而彻底消灭美国光刻机产业。美国光刻机企业SVG、Ultratech早在80年代就被尼康打得七零八落，美国心存芥蒂。

为此，美国更相信荷兰的阿斯麦，允许其加入EUV LLC，共同参与开发，共享研究成果。为了表现诚意，阿斯麦同意在美国建立一所工厂和一个研发中心，以此满足所有美国本土的产能需求。另外，还保证55%的零部件均从美国供应商处采购，并接受定期审查。所以为什么美国能禁止荷兰的光刻机出口中国，一切的原因都始于此时。

2009年，美国的Cymer公司研发出EUV所需的大功率光源，成为阿斯麦的供应商，更在四年后以25亿美元高价直接被并购。2012年，英特尔连同三星和台积电，三家企业共计投资52.29亿欧元，先后入股阿斯麦，以此获得优先供货权，结成紧密的利益共同体。

阿斯麦站在EUV LLC的肩膀上，背靠美国支持，又有客户送钱，阿斯麦自此正式成为“全村的希望”，在摘取EUV光刻机这颗宝石的道路上，一路孤独的狂奔。#光刻机# #阿斯麦# #EUV LLC联盟#