半导体设备国产替代讲了几年，盛美上海是少数在订单上兑现了的。
前道设备今年在往80亿收入走，后道也在放量。国内晶圆厂扩产节奏没停，清洗设备进了国内的主流产线，电镀和炉管也在扩品类。
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