半导体电子特气完整供应链分层梳理

免责提示：以下仅为产业链业务梳理，不构成任何投资建议
行业核心逻辑：电子特气被称为半导体制造“血液”，覆盖光刻、刻蚀、沉积、掺杂、清洗全流程；当前六氟化钨、三氟化氮、高纯磷砷烷持续涨价，AI算力、存储芯片扩产带动需求爆发，高端6N/7N特气国产替代空间巨大。

第一层：核心高纯特种气体生产企业（产业链核心、业绩弹性最强）

1. 南大光电

核心产品：7N级磷烷、砷烷、三氟化氮（掺杂刚需特气）；同步配套MO源、电子湿化学品
优势：国内掺杂特气龙头，特气+光刻材料客户协同，适配磷化铟、先进晶圆外延，当前主升主线标的。

2. 中船特气

核心产品：六氟化钨、三氟化氮（氟系刻蚀龙头，全球最大六氟化钨产能）
优势：特气业务纯度高、客户覆盖存储/逻辑先进制程，同步布局气体分装、检测与前驱体研发，全流程供气配套。

3. 昊华科技

核心产品：六氟化钨、六氟丁二烯高端刻蚀氟气
优势：央企氟化工一体化，上游原料自给，配套分装与纯度检测产线，氟系特气完整闭环。

4. 华特气体

核心产品：光刻混合气、氟碳蚀刻气、稀有高纯气体全品类
优势：国内唯一通过ASML光刻气认证，自建混配、尾气回收、气瓶充装产线，提供现场运维一体化供气。

5. 雅克科技

核心产品：光刻配套混合气、氟系蚀刻特气
优势：特气+光刻胶+硅微粉+前驱体多材料协同，一体化半导体材料平台，多赛道客户复用。

6. 金宏气体

核心产品：6N高纯CO₂、超纯氨、电子大宗载气
优势：自有危化物流、园区现场制气总包，华东晶圆集群核心供应商，多款产品通过SK海力士认证。

7. 广钢气体

核心产品：超高纯氦气、高纯二氧化碳
优势：自研气体纯化设备，园区集中供气+储罐运维，补齐国内稀有气体保供环节。

8. 凯美特气

核心产品：6N电子级高纯CO₂，依托石化尾气回收低成本气源
优势：自有专用气瓶分装基地，配套晶圆清洗供气运维，上游原料自给稳定。

9. 和远气体

核心产品：高纯氨、氟系清洗气体
优势：自产低温精馏提纯设备，深耕中部半导体集群，可承接区域气站建设运营总包。

10. 三孚股份

核心产品：电子级三氯氢硅、二氯二氢硅硅基沉积特气
优势：硅系气体专用精馏装置自研，适配硅外延产线，气源+纯化设备一体化方案。

11. 中巨芯

核心产品：电子级氢氟酸等氟系基础特气
优势：特气混配自动化产线，氟类气体+湿电子化学品协同配套。

第二层：特气上游基础气源原料供给

华昌化工

规模化高纯液氨产出，作为超纯氨特气上游核心原料；配套氨精制提纯装置，为全行业特气厂稳定供货基础气源。

水发燃气

LNG尾气提氦工艺，量产半导体级高纯氦气；配套低温提氦成套设备，缓解国内氦气进口依赖。

第三层：特气配套装备（生产/输送/低温/监测设备）

1. 正帆科技

自产磷烷、砷烷掺杂特气+高纯气体阀柜、管路、尾气处理设备；兼具气体生产+供气系统EPC总包，设备+气体双主线。

2. 至纯科技

特气纯化装置、厂区供气管道系统设备；叠加湿法清洗设备，同步配套晶圆厂气体供给与硅片清洗工艺。

3. 冰轮环境

高纯气体深冷液化、低温提纯、氦气储存成套装备，为稀有气体厂商提供全套低温生产储存设备。

4. 杭氧股份

空分设备龙头，产出大宗氧氮氩基础气源设备；承接产业园现场供气长期运营，底层气源设备核心标的。

5. 雪迪龙

电子特气在线杂质监测、纯度分析仪器，刻蚀/沉积产线气体品质实时监控刚需设备。

第四层：洁净流体管路、安装工程配套（气体输送末端）

1. 新莱应材

超高纯不锈钢EP管路、隔膜阀、气体分配模组、真空腔体，特气从储罐到机台洁净输送核心配件。

2. 亚翔集成

晶圆厂特气管路、专用气站洁净车间总包施工；高纯管路安装+洁净运维，特气产线落地必备工程配套。

赛道梯队划分（按景气弹性排序）

第一梯队（核心高纯特气，涨价+国产替代主线）

南大光电、中船特气、昊华科技、华特气体、雅克科技

第二梯队（大宗/细分特种气体，区域供气、细分增量）

金宏气体、广钢气体、凯美特气、和远气体、三孚股份、中巨芯

第三梯队：上游气源原料

华昌化工、水发燃气

第四梯队：特气生产/输送设备

正帆科技、至纯科技、冰轮环境、杭氧股份、雪迪龙

第五梯队：管路配件+洁净工程

新莱应材、亚翔集成

核心投资逻辑总结

1. 高价值赛道：氟系刻蚀气（六氟化钨）、7N掺杂磷砷烷、光刻混合气技术壁垒最高，涨价弹性最强；

2. 一体化平台优势：同时布局气体+半导体材料（南大光电、雅克科技）、气体+供气设备（正帆科技）企业客户粘性更强；

3. 短板增量：高纯氦气、硅基沉积气体国内自给率低，广钢气体、三孚股份长期成长空间充足；

4. 配套设备逻辑：晶圆厂新建/扩建必须同步采购纯化、管路、监测设备，设备端随特气扩产持续释放订单。