AI供应链依然是赢家通吃，康宁GlassBridge（玻璃桥）方案出来以后，用离子交换（IOX）制作埋入式光波导，不再需要物理通孔。TGV导电通孔（电气垂直互连）采用LIDE激光诱导化学蚀刻工艺，飞秒超快激光内部改性 + 氢氟酸（HF）酸性湿法选择性蚀刻。孔位精度±1μm，可一次性生成整晶圆百万级微孔阵列。彻底解决通孔垂直度高、孔壁光滑的问题，深径比量产可达80:1，极限120:1，常规孔径10～80μm。沃X光电那个低良率碱性方案直接吐血，不用再努力了。
发布于 北京
AI供应链依然是赢家通吃，康宁GlassBridge（玻璃桥）方案出来以后，用离子交换（IOX）制作埋入式光波导，不再需要物理通孔。TGV导电通孔（电气垂直互连）采用LIDE激光诱导化学蚀刻工艺，飞秒超快激光内部改性 + 氢氟酸（HF）酸性湿法选择性蚀刻。孔位精度±1μm，可一次性生成整晶圆百万级微孔阵列。彻底解决通孔垂直度高、孔壁光滑的问题，深径比量产可达80:1，极限120:1，常规孔径10～80μm。沃X光电那个低良率碱性方案直接吐血，不用再努力了。